序号

工况

载荷

PV (nm)

RMS (nm)

变形云图

1

Z向微重力

1 g

20.56

3.50

2

X向微重力

1 g

22.80

3.84

3

Y向微重力

1 g

21.25

3.49

4

均匀温度

±8℃

47.26

9.31